[image]

Дефектовка и раскрой пластин для фотоматриц

Перенос из темы «Как должны измениться нынешние фотокамеры чтоб ваши фото стали лучше?»
 
1 2 3 4 5 6 7
RU Кот_да_Винчи #27.09.2012 11:12  @Jerard#27.09.2012 10:52
+
-
edit
 
Jerard> Неоднородность показателя преломления вызывает искажение изображения. Рассеяние в материале, например, на объемных дефектах, понижает контрастность картинки

это физические дефекты решетки, причем достаточно объемные. А вот не факт что примеси дадут контрастную в ИК картинку
   7.07.0
RU Jerard #27.09.2012 11:42  @Кот_да_Винчи#27.09.2012 11:12
+
+1
-
edit
 

Jerard

аксакал

Кот_да_Винчи> это физические дефекты решетки, причем достаточно объемные. А вот не факт что примеси дадут контрастную в ИК картинку
Смотря как картинку получать. Поляризация будет всяко.
Вот че нашел. Там правда постконтроль: http://window.edu.ru/resource/280/77280/files/ulstu2012-106.pdf
   15.0.115.0.1
+
0 (+1/-1)
-
edit
 

iodaruk

аксакал

☠☠
tarasv> Быстро в патентное бюро - за недорогую и надежную методику обнаружения дефектов кристалла до начала техпроцесса можно будет безбедно жить и еще и правнукам останется.

Методов анализа поверхности-мульён. Только де факто входного контроля нет-есть сортировка на брак и не брак.

tarasv> А генетику таки точно не обманешь - профан с апломбом это таки навсегда. Особо доставило предложение пилить бракованные матрицы большого размера чтобы получить годные меньшего размера.

Вы врёте. Об этом я не писал.
   21.0.1180.8921.0.1180.89
+
+1
-
edit
 

iodaruk

аксакал

☠☠
stas27> А вот такой вопрос: я правильно понимаю, что помимо физических дефектов кристалла возможны дефекты, связанные со случайным распределением примесей других элементов (если я правильно помню курс УПК 30 летней давности)? Или это не играет роли в нынешней микроэлектронике?

А если бы вы подумали, то поняли зачем зонной плавкой(иногда неоднократной) плавят 9 девяток.
   21.0.1180.8921.0.1180.89
+
0 (+1/-1)
-
edit
 

iodaruk

аксакал

☠☠
Kuznets> и не просто "пока" а "уже, и все больше и больше". лес - дефицитен, в отличие от песка под ногами.

Проблема в том что подложки отнюдь не из песка. То что под ногами-не всегда годится на стеклянную посуду.

Более того-речь об оптимизации всего процесса в целом-а не ляпаем как есть, берём что получилось.

Кремний же по ссылке на алибабу-2-4 дюйма палки неизвестного качества. Годятся на россыпуху и только.

Kuznets> яркий пример подобного - интервью одной старой проектировщицы зданий которая когда рассказывала про проектирование пятиэтажек открытым текстом говорила что "раньше экономили металл и цемент, а сейчас - энергию".

Нужно немного представлять контекст. Если хотите-могу развернуть на абзац.

Kuznets> вот и в электронике (массовой) как я понял "экономят" тоже не кремний а процент выхода готовой продукции и себестоимость (а предлагаемые меры - однозначно увеличение себестоимости).

дубль два-выход годного вообще не оптимизируют-еслиб оптимизировали-ловили бы крупные дефекты, которые запарывают матрицу(битый пиксель дефектом не является!) и либо меняли схему раскроя с их учётом, либо просто пропускалибы, экономя время на литографии(нанесение маски и т.п-пресловутый размер штампа), и довелибы размер штампа до хотяб фуллфрейма-их значимое количество на рынке. В комплексе-это разы, которые из экспоненты делают малую степень.

Но пока потребитель платит-всем плевать. Рынок.
   21.0.1180.8921.0.1180.89
+
+1
-
edit
 

Kuznets

Клерк-старожил
★☆
iodaruk> Проблема в том что подложки отнюдь не из песка. То что под ногами-не всегда годится на стеклянную посуду.

было бы это проблемой - кремний не стоил бы 20 баксов за кило.
про стекло хорошая статья была в последнем авторевю, как на борский завод везут из-под раменского )

iodaruk> Кремний же по ссылке на алибабу-2-4 дюйма палки неизвестного качества. Годятся на россыпуху и только.

я тут не копенгаген, насколько для сенсоров важно это качество. написано 9n значит 9n. там есть и 12n имхо если нужно. для солнечных панелей и 6н хватает.

Kuznets>> "раньше экономили металл и цемент, а сейчас - энергию".
iodaruk> Нужно немного представлять контекст. Если хотите-могу развернуть на абзац.

давай. хотя контекст я хорошо помню, передачу смотрел полностью.

iodaruk> Но пока потребитель платит-всем плевать. Рынок.

имхо ты не в ту степь копаешь. с чего ты взял что дефекты распила имеют существенное значение?
В сферу задач SK Hynix войдёт решение проблем по созданию бездефектных фотошаблонов. Отметим, в случае литографии в жёстком ультрафиолете маски создают совершенно новый тип дефектов, несвойственный современной иммерсионной литографии. Если сегодня искажения получаются на границе сред жидкости и фотошаблона, то в случае EUV-литографии будут возникать такие вещи, как появление статических зарядов (полей) в фотошаблонах после облучения жёстким излучением. Само собой, паразитные поля будут вносить искажения в проекцию и, в конечном итоге, приведут к браку в чипе.
В компании SK Hynix считают, что они смогут решить основные проблемы при создании бездефектных масок в середине 2014 года, после чего можно будет приступить к выпуску производственного оборудования. Созданная методология подойдёт для выпуска полупроводников, начиная с норм 16 нм и ниже. Естественно, в реальном производстве такие решения появятся не в 2014 году, а позже.
 
   15.0.115.0.1

+
+1
-
edit
 

iodaruk

аксакал

☠☠
Kuznets> было бы это проблемой - кремний не стоил бы 20 баксов за кило.

Какой кремний? палка 4 дюйма непонятной чистоты, сделанная в гараже?
Заводская палка 8 дюймов высокой чистоты?
Заводская палка 12 дюймов очень высокой чистоты?
Подложка выпеленная из палки 12 дюймов?
Полированая подложка готовая для фотолитографии?

Выж понимаете что палка на вес и готовая подложка стоят не одинаково мягко говоря?

И там не 20 баксов.

Kuznets> про стекло хорошая статья была в последнем авторевю, как на борский завод везут из-под раменского )

Да. Только кремний это не SiO2, и чистота там не ±10%

Kuznets> давай. хотя контекст я хорошо помню, передачу смотрел полностью.

А там не тот контекст.
Хрущёвками заменяли бараки и малоэтажную застройку-у них теплотехническая эффективность всё равно ВЫШЕ за счёт меньшего метража наружних стен и подвала/крыши в пересчёте на метр жилой.
Плюс соотношение цен металла, энергоносителей и прочего.
Плюс политика а -ля батуринский пенопласт

iodaruk>> Но пока потребитель платит-всем плевать. Рынок.
Kuznets> имхо ты не в ту степь копаешь. с чего ты взял что дефекты распила имеют существенное значение?

Дефекты распила? Я про них не писал. Я писал про топологию распила с учётом хотябы части обнаруженных дефектов с целью повышения выхода годного самых крупноразмерных матриц.
   21.0.1180.8921.0.1180.89
+
-
edit
 

Kuznets

Клерк-старожил
★☆
Kuznets>> было бы это проблемой - кремний не стоил бы 20 баксов за кило.
iodaruk> Какой кремний?

Polycrystalline hyperpure silicon with minimal purity 6N. This is the average price of all companies participating regardless of region or type of participant.
...The Index provides overall average prices as well as China and International prices.
 

график цены прилагается.

iodaruk> Я писал про топологию распила с учётом хотябы части обнаруженных дефектов с целью повышения выхода годного самых крупноразмерных матриц.

у тебя есть цифры чтобы показать значимость этой проблемы?
Прикреплённые файлы:
 
   15.0.115.0.1
Это сообщение редактировалось 27.09.2012 в 16:07
+
+1
-
edit
 

Kuznets

Клерк-старожил
★☆
Kuznets>> про стекло хорошая статья была в последнем авторевю, как на борский завод везут из-под раменского )
iodaruk> Да. Только кремний это не SiO2, и чистота там не ±10%

да :D

iodaruk> А там не тот контекст.
iodaruk> Хрущёвками заменяли бараки и малоэтажную застройку-у них теплотехническая эффективность всё равно ВЫШЕ за счёт меньшего метража наружних стен и подвала/крыши в пересчёте на метр жилой.

это у тебя контекст не тот. она прямым текстом говорила - когда проектировались хрущобы, на тепловую эффективность было всем положить, а вот металла и цемента было сильно ограничено (особенно металла) поэтому экономили даже "на спичках", высчитывая до граммов.
   15.0.115.0.1
+
-
edit
 

iodaruk

аксакал

☠☠
Kuznets> график цены прилагается.

так это порошок/спек посли первой стадии рафинажа


Там только до палки пара стадий. А потом распил.
В зависимости от предназначения различают:
1. Кремний электронного качества (т. н. «электронный кремний») — наиболее качественный кремний с содержанием кремния свыше 99,999 % по весу, более высокими показателями по времени жизни (свыше 25 мкс), используемый для производства твердотельных электронных приборов, микросхем и т. п. Удельное электрическое сопротивление кремния электронного качества может находиться в интервале примерно от 0,001 до 150 Ом·см, но при этом величина сопротивления должна быть обеспечена исключительно заданной примесью т. е. попадание в кристалл других примесей, хотя бы и обеспечивающих заданное удельное электрическое сопротивление, как правило, недопустимо. Основная масса кристаллов кремния электронного качества является т.н. "бездислокационными кристаллами", т. е. плотность дислокаций в них не превышает 10 см−2, однако, в некоторых случаях, для изготовления электронных приборов также применяются слитки с двойниковой или даже поликристаллической структурой.
2. Кремний солнечного качества (т. н. «солнечный кремний») — кремний с содержанием кремния свыше 99,99 % по весу, со средними значениями времени жизни неравновесных носителей и удельного электросопротивления (до 25мкс и до 10 Ом.см), используемый для производства фотоэлектрических преобразователей (солнечных батарей);
3. Технический кремний — блоки кремния поликристаллической структуры, полученного методом карботермического восстановления из чистого кварцевого песка; содержит 98 % кремния, основная примесь — углерод, отличается высоким содержанием легирующих элементов — бора, фосфора, алюминия; в основном используется для получения поликристаллического кремния; в 2006—2009 гг. в связи с дефицитом кремниевого сырья солнечного качества предпринимались попытки использования этого материала для производства кристаллического кремния солнечного качества: для этого производилась доочистка технического кремния путём дробления по межкристаллитным границам и стравливания примесей, концентрирующихся на границах, затем производилась перекристаллизация одним из вышеупомянутых способов).
 


Если считать скажем шарик подшипника за подложку-то это чугун из домны-там ещё три передела до марочной стали и мехобработка.
   21.0.1180.8921.0.1180.89
Это сообщение редактировалось 27.09.2012 в 16:13
+
+2
-
edit
 

iodaruk

аксакал

☠☠
Kuznets> это у тебя контекст не тот. она прямым текстом говорила - когда проектировались хрущобы, на тепловую эффективность было всем положить, а вот металла и цемента было сильно ограничено (особенно металла) поэтому экономили даже "на спичках", высчитывая до граммов.

Так я написал про контекст.

А контекст просиой. ПГТ с тремя хрущёвками и центральной котельной расходует меньше условного топлива чем деревня на пять гектар с тем же числом жителей с печным отоплением и печным же приготовление писчи.

Селяви.
   21.0.1180.8921.0.1180.89
+
-
edit
 

Kuznets

Клерк-старожил
★☆
iodaruk> Если считать скажем шарик подшипника за подложку-то это чугун из домны-там ещё три передела до марочной стали и мехобработка.

ну ок, пусть 2000 за 1 кг, 2 доллара за грамм. раз никто этого не делает - значит овчинка даже в этом случае выделки не стоит, проще те дефекты которые возникают отправить в лом, зато не усложнять технологию.
   15.0.115.0.1
+
+1
-
edit
 

iodaruk

аксакал

☠☠
Kuznets> ну ок, пусть 2000 за 1 кг, 2 доллара за грамм. раз никто этого не делает - значит овчинка даже в этом случае выделки не стоит, проще те дефекты которые возникают отправить в лом, зато не усложнять технологию.

Их отправляют вместе с машинным временнем, затраченым на производство и тест. Выкидывают ГОТОВУЮ матрицу.

Ферштейн?

По сылкам выше цена фигугрировала в 1000уе за блин, не за килограмм. 20% оптимизации раскроя-это 20% экономии на ровном месте. Без учёта дефектов.

Дефектоскопия-это РАЗЫ. Изза цены машинного времени.
   21.0.1180.8921.0.1180.89
+
-
edit
 

Kuznets

Клерк-старожил
★☆
iodaruk> А контекст просиой. ПГТ с тремя хрущёвками и центральной котельной расходует меньше условного топлива чем деревня на пять гектар с тем же числом жителей с печным отоплением и печным же приготовление писчи.
iodaruk> Селяви.

у тебя контекст простой да не тот :) у меня дед после войны строил те дома которые "массово" строились перед хрущебами, даже перед опытами которые привели к хрущебам. это полудеревянные 2-3 этажки. с отоплением там все ок, их сносили в середине-конце 80-х. но массово такие дома в тех объемах которые тогда требовались - строить было невозможно. именно поэтому пришли к панельной технологии. еще лучше было бы лить монолиты но там металла надо больше и непрерывный подвоз бетона.
   15.0.115.0.1
+
-
edit
 

Kuznets

Клерк-старожил
★☆
iodaruk> По сылкам выше цена фигугрировала в 1000уе за блин, не за килограмм.

я не знаю откуда это, цены на ingots электронного кач-ва идут в районе 200-2000/кг.
   15.0.115.0.1
+
-
edit
 

Kuznets

Клерк-старожил
★☆
iodaruk> Их отправляют вместе с машинным временнем, затраченым на производство и тест. Выкидывают ГОТОВУЮ матрицу.

при печати тиража обычной ежедневки тоже выкидывают до нескольких тысяч экземпляров пока машину настроят. и что?
   15.0.115.0.1
+
+1
-
edit
 

iodaruk

аксакал

☠☠
iodaruk>> А контекст просиой. ПГТ с тремя хрущёвками и центральной котельной расходует меньше условного топлива чем деревня на пять гектар с тем же числом жителей с печным отоплением и печным же приготовление писчи.
iodaruk>> Селяви.
Kuznets> у тебя контекст простой да не тот :) у меня дед после войны строил те дома которые "массово" строились перед хрущебами, даже перед опытами которые привели к хрущебам. это полудеревянные 2-3 этажки. с отоплением там все ок, их сносили в середине-конце 80-х.

мсье, вы не читаете
Хрущёвками заменяли бараки и малоэтажную застройку-у них теплотехническая эффективность всё равно ВЫШЕ за счёт меньшего метража наружних стен и подвала/крыши в пересчёте на метр жилой.
 


Плюс центральное отопление вместо местного и т.д. и т.п.

Kuznets> но массово такие дома в тех объемах которые тогда требовались - строить было невозможно. именно поэтому пришли к панельной технологии.

А в киеве дядка.

Хрущёвки заменяли даже не бараки простройки 40-х, а бревенчатые дома и бараки постройкп гражданской и ранее. А там теплотехническая эффективность-НОЛЬ. Изза крыши, печного отопления, эффективных рам и остекления и этажности с метражом.

Простой пример-разделите хрущёвку просто пополам-добавте две уличные торцевые стены-у вас расход на отпление поднимется значительно.

Выкинте один этаж со второго по четвёртый-у вас отопление на метр-вырастет.

А один даже ОЧЕНЬ большой барак-это 2-3 этажа и два подъезда хрущёвки. это одни углы и крыша с подвалом.

У вас что-никто не жил из родственников/знакомых в угловой квартире?
   21.0.1180.8921.0.1180.89
+
-
edit
 

Kuznets

Клерк-старожил
★☆
iodaruk> мсье, вы не читаете

я читаю. но я почему-то больше верю той старой женщине в тв.
   15.0.115.0.1
+
+1
-
edit
 

iodaruk

аксакал

☠☠
iodaruk>> мсье, вы не читаете
Kuznets> я читаю. но я почему-то больше верю той старой женщине в тв.

а мы друг другу не противоречим, если до сих пор непонятно. Да-теплотехническая эффективность хрущёвок-формально-невысока. Но то что она заменяла-было ещё хуже. Поэтому на том уровне-это было нормально. Паравозный кпд также само не прошёл бы экспертизу как и лишний килограмм металла.

У сталинок-выше, да. И условия лучше(кроме деревянных перекрытий и пожароопасности!). Но их и половину от хрущёвок построить было невозможно.
   21.0.1180.8921.0.1180.89
RU Клапауций #27.09.2012 16:42  @iodaruk#27.09.2012 16:26
+
+1
-
edit
 

Клапауций

координатор
★★☆
iodaruk> Их отправляют вместе с машинным временнем, затраченым на производство и тест. Выкидывают ГОТОВУЮ матрицу.

Я запутался. А как иначе? Ты что предлагаешь?
Вот в процессе обнаружили... гм... "пылинку" на пластине. Как ты собираешься обойти эту область? Делать новый фотошаблон, каждый раз, под каждый обнаруженный дефект? Шаблон-то на всю пластину разом.
А выкидывают сразу после распила. Тестят готовые, но еще не разрезанные области, прямо на пластине. Брак нашли, отмаркировали. После распила уходят сразу в отстой, дальше на них не тратят ничего.
   
RU iodaruk #27.09.2012 16:44  @Клапауций#27.09.2012 16:42
+
-
edit
 

iodaruk

аксакал

☠☠
Клапауций> Вот в процессе обнаружили... гм... "пылинку" на пластине. Как ты собираешься обойти эту область? Делать новый фотошаблон, каждый раз, под каждый обнаруженный дефект? Шаблон-то на всю пластину разом.


Шаблон/штамп/проход машины меньше фулфрейма. Тчк. абзац.
половина брака фулфрейма-стыки проходов.
2/3-стык хорошей половинки с с пылинкой.
   21.0.1180.8921.0.1180.89
RU Клапауций #27.09.2012 16:57  @iodaruk#27.09.2012 16:44
+
+1
-
edit
 

Клапауций

координатор
★★☆
iodaruk> Шаблон/штамп/проход машины меньше фулфрейма. Тчк. абзац.

Это странно. Ибо микросхемы печатают единым шаблоном...
   
+
+2
-
edit
 

tarasv

аксакал

iodaruk> Методов анализа поверхности-мульён. Только де факто входного контроля нет-есть сортировка на брак и не брак.

И откуда вы это знаете если с техпроцессом не знакомы даже на уровне статьи в википедии?

tarasv>>Особо доставило предложение пилить бракованные матрицы большого размера чтобы получить годные меньшего размера.
iodaruk> Вы врёте. Об этом я не писал.

И кто это написал?
Простые примеры- резать матрицу на 2-3 типоразмера пластин одновременно для 95% использования площади.
Входной контроль пластин с поиском "пылинок"(пластины потом травят, да и битый пиксель-не повод для гарантии) с перерезом дефектной на меньший размер.
 
   15.0.115.0.1
CA tarasv #27.09.2012 19:09  @Клапауций#27.09.2012 16:42
+
+4
-
edit
 

tarasv

аксакал

iodaruk>> Их отправляют вместе с машинным временнем, затраченым на производство и тест. Выкидывают ГОТОВУЮ матрицу.
Клапауций> Я запутался. А как иначе? Ты что предлагаешь?
Клапауций> Вот в процессе обнаружили... гм... "пылинку" на пластине.

Он думает что все дефекты это дефекты пластин, а не дефекты вознкающие в ходе всего техпроцесса и поэтому несет малопонятную чушь.
   15.0.115.0.1
CA stas27 #27.09.2012 22:47  @Клапауций#27.09.2012 16:57
+
-
edit
 

stas27

координатор
★★★
iodaruk>> Шаблон/штамп/проход машины меньше фулфрейма. Тчк. абзац.
Клапауций> Это странно. Ибо микросхемы печатают единым шаблоном...

Для ФФ (и среднеформатных сенсоров) это печальный факт жизни. Что приводит к тому, что разные части сенсора чуть отличаются друг от друга по свойствам, и при применении достаточного насилия над выдаваемыми ими картинками это можно даже увидеть ;) . Я приводил примеры:

Как должны измениться нынешние фотокамеры чтоб ваши фото стали лучше?

  В.З.ф.В.> Лично мне кажется, что здесь проблема в шевеленке, а не в эльках. Именно в них Хоть со штатива снимай, хоть на 1/1000, но на 100% кропе будет рвань. 55-250 IS не обеспечивает полное разрешение для 18МПкс на кропе.  инфо  инструменты В.З.ф.В.>> Лично мне кажется, что здесь проблема в шевеленке, а не в эльках.Balancer> Именно в них Хоть со штатива снимай, хоть на 1/1000, но на 100% кропе будет рвань. 55-250 IS не обеспечивает полное разрешение для 18МПкс на кропе. // Дальше — www.balancer.ru
 
   15.0.115.0.1
1 2 3 4 5 6 7

в начало страницы | новое
 
Поиск
Настройки
Твиттер сайта
Статистика
Рейтинг@Mail.ru