Русские строят фабрику под 45nm техпроцесс (Russians to build 45nm Fab)

 
1 2 3 4 5 6 7

marata

Вахтер форумный
★☆
hcube>> Если я правильно помню, то как раз кремниевые заготовки 300 мм у нас делают. И довольно хорошо делают.
Mishka> Мне несколько лет назад попадалась инфа, что брак высок. Про сейчас — не знаю.
Они купили специализированные ИК-спектрометры для контроля водорода, азота, углерода в пластинах и их сортировки. Сейчас вроде как хорошо.
 

Mishka

модератор
★★☆
marata> Они купили специализированные ИК-спектрометры для контроля водорода, азота, углерода в пластинах и их сортировки. Сейчас вроде как хорошо.
Тогда, действительно, хорошо. :)
 
LT Bredonosec #04.10.2007 05:47  @Mishka#04.10.2007 00:48
+
-
edit
 
Bredonosec>> Так разговоры-то шли о том, что не взлетит вообще и всё это невозможно, просто потому, что в россии этого не может быть.. и потому нефиг умничать, открывайте кошельки, покупайте а и б..
Mishka> Да? Где Володя говорил такое? Правильных людей слушать надо. :P
Как раз от него и не помню :)
Зато вот разных других стратегов таки было ;) и их имена уж поминалися..

Bredonosec>> каждый мнит себя стратегом видя бой со стороны :)
Mishka> Ну да, а остальным только остаётся вспоминать про собаку и караван. Пусть на нас лаят. Мы идём на йух!
как пошли с рыжиком? :)

Bredonosec>> Эт я ап том, что бум надеяться, что таки пойдет в нужную :)
Mishka> Не надо ждать милостей от природы. :P
Взять их - наша первичная задача.. Помним, помним. ))
Ток "взять" - это значит делать, а не ждать, пока дядя за лужей (олицетворяя ту самую милость от природы) разрешит нам купить чего-то.

Mishka> Ты представляешь себе 65-45 на базе поюзанной фабрики? Ну-ну. Просто "чистые комнаты" для этого процесса намного чище должны быть, чем для 130. И источники не самое главное. Это проблема решена 20 лет назад. Не слушай Ника, слушай pokos-а и au. С теми источника ещё та морока — из чего непрозрачные маски делать? Ну и проекторы. И как, правильно сказал pokos, цена проектора 99%. А что там осталось с землёй сравнивать?
я всех слушаю, :)
насчет "намного чище" - новые фильтры поставить? Более мелкодырчатые мембраны в инх использовать?
Маски непрозрачные? дык вроде ж упоминалось, что металл.. а потом зеркалами фокусируется в более мелкое..
То есть, выходит, что собсно проектор и есть основная деталь, которой не хватает?
Остальное - автолинии проверки, контроля, сборки, травления, ........... - могут остаться фактически прежними? источник, как сам говоришь, не проблема, а чистота - фильтры в фву новые?

Mishka> Начни просто с того, что когда растят кристаллы, то электроэнергии должно быть до хрена и она должна быть чистая. А речь идёт о промышленном производстве вафле в 300 мм (так, вроде, по статье).
про кристаллы уже ответили..
а путь - новое не продадут, сильно старое покупать (ака милости от природы) - а смысл, если потребитель за бугром готовое изделие нового уровня возьмет - выброс денег? Просто расслабиться и намазаться вазелином "ой, всё равно мы неудачники и недостойны коптить на свете белом" - вообще идиотизм.

Вот и остается надеяться, что получится у них выбиться.
 
US Mishka #04.10.2007 06:09  @Bredonosec#04.10.2007 05:47
+
-
edit
 

Mishka

модератор
★★☆
Bredonosec> Как раз от него и не помню :)

Володя приводил и приводит довольно разумную программу восстановления в таких случаях. Покупание, кооперация, обучение у них, тому, чего сами делать не можемо. Если аккуратно вспомнить, то советская школа физики была во многом заложена людьми, которые в Англии, германии обучались. А математики ещё и во Франции.

Bredonosec> как пошли с рыжиком? :)

Мне отвели роль шавки. Так что я не пошёл с караваном. ;)

Bredonosec> Ток "взять" - это значит делать, а не ждать, пока дядя за лужей (олицетворяя ту самую милость от природы) разрешит нам купить чего-то.

Надо активнее лезть. И не только к дяде за лужей. А к другим тоже. И не только покупать. Но и совместно работать, а так же посылать людей учиться.

Bredonosec> я всех слушаю, :)
Bredonosec> насчет "намного чище" - новые фильтры поставить? Более мелкодырчатые мембраны в инх использовать?

Нет, это не только новые фильтры. Вот строили в Питере для Светланы ещё в 80-х — корпус в корпусе с фильтрацией. Так вот для 130 этих двух корпусов просто не хватает. И фильтры не помогают. Тем более, что место выбрали возле Балтийского вокзала. А там от ж.д. такая пылища, что и три корпуса не помогло бы.

Bredonosec> Маски непрозрачные? дык вроде ж упоминалось, что металл.. а потом зеркалами фокусируется в более мелкое..

Там не просто метал. Блин, нет у меня ребят под рукой, кто этими делами занимался — все в Кишинёве остались.

Bredonosec> То есть, выходит, что собсно проектор и есть основная деталь, которой не хватает?

Самая дорогая.

Bredonosec> Остальное - автолинии проверки, контроля, сборки, травления, ........... - могут остаться фактически прежними? источник, как сам говоришь, не проблема, а чистота - фильтры в фву новые?

На 45 — сухой процесс, pokos сказал же. Контроль важен. Но технологически проще, вроде. Ну и с запасом обычно делаются схемы. Скажем у процов плохие цепи можно рераутить до определённой степени.

Bredonosec> про кристаллы уже ответили..
Bredonosec> а путь - новое не продадут, сильно старое покупать (ака милости от природы) - а смысл, если потребитель за бугром готовое изделие нового уровня возьмет - выброс денег? Просто расслабиться и намазаться вазелином "ой, всё равно мы неудачники и недостойны коптить на свете белом" - вообще идиотизм.

Потому что самим до этого уровня добираться это ещё 10 лет. Если не больше.

Bredonosec> Вот и остается надеяться, что получится у них выбиться.

Если только надеятся — это тупиковый путь.
 

pokos

аксакал

Mishka> Нет, это не только новые фильтры. Вот строили в Питере для Светланы ещё в 80-х — корпус в корпусе с фильтрацией. Так вот для 130 этих двух корпусов просто не хватает.
Светлана даже 2мкм микросхеиы делала отстойные. Хреново там с культурой производства традиционно. А корпус у вокзала и на 90нм не поканает. Тот пресловутый зеленоградский 45нм-300мм и то под вопросом по вибрации. Рядом ленинградка, а фуры - это всётки далеко не поезда, трясут куда меньше.
 

Mishka

модератор
★★☆
pokos> Светлана даже 2мкм микросхеиы делала отстойные. Хреново там с культурой производства традиционно.

Я знаю. :( Просто обсуждался одно время вопрос где "Самсон" в кристале будут делать. Вот и всплыло.

pokos> А корпус у вокзала и на 90нм не поканает. Тот пресловутый зеленоградский 45нм-300мм и то под вопросом по вибрации. Рядом ленинградка, а фуры - это всётки далеко не поезда, трясут куда меньше.

Ага, начальнику об этом тоже сказали сразу.
 

Fakir

BlueSkyDreamer
★★★
Mishka> Нет, это не только новые фильтры. Вот строили в Питере для Светланы ещё в 80-х — корпус в корпусе с фильтрацией. Так вот для 130 этих двух корпусов просто не хватает. И фильтры не помогают. Тем более, что место выбрали возле Балтийского вокзала. А там от ж.д. такая пылища, что и три корпуса не помогло бы.

Э-э, ну тряска - я понимаю, а с фильтрацией-то в чём проблема, пусть даже рядом с вокзалом? Да, пыли там больше, но она же грубая, здоровенная, фильтроваться должна легко.
Тем более что всякое фильтровальное оборудование высочайшего качества сейчас вполне доступно, как на жидкости, так и на газы - Amafilter, например.
Я не знаю, каковы требования именно для чистых цехов, но уж систему грубой фильтрации на тех фильтрах с гарантией сделать можно на ура.

А из жидкой среды их фильтры даже бактерии вылавливают - такие фильтры ставятся на пив- и винзаводах, линии стерильной фильтрации. Продукт после такого фильтра не надо пастеризовать. Картридж меняется раз в недели-месяцы при непрерывном потоке через фильтр (ну, еще их можно промывать-восстанавливать). Стоимости вполне умеренные.
 

pokos

аксакал

Fakir> А из жидкой среды их фильтры даже бактерии вылавливают
Превед! Узнай размеры бактерии. Сравни с 45нм.
 

Fakir

BlueSkyDreamer
★★★
Антиресная логика. Во-первых, я просто привёл примеры - какие фильтры есть и абсолютно доступны, в куче вариантов, потому что на них есть спрос. Именно на такие параметры.
Это не значит, что нельзя сделать фильтры лучше. Кстати, для того, чтобы задержать задержать частицы определённого размера обычно достаточно фильтра с порами на порядок больших размеров.

И почему надо требовать от фильтра способностей вылавливать частицы порядка 45 нм? Что, в воздухе таких много?
 

U235

старожил
★★★☆
pokos> Поясняю ищо рас. Фабрика на 45нм - это охереть какой технологически сложный комплекс производств. Причём, сложности там буквально на каждом шагу. Источник - это херня на постном масле по сравнению, хотя бы, с системой очистки воздуха.
pokos> И рассказывать сказки про совецкие 45нм можно кому угодно, только не мне.

Поэтому видимо с европейцами и скооперировались. Наши ученые слабали пригодный для промышленности 45нм проектор. В это я вполне могу поверить, т.к. мы имеем вполне мирового уровня полупроводниковую и ядерную физику и химию. Так что если Ливеромор смог сделать субрентгеновский источник, то и Саров наверно тоже мог бы что-то подобное родить. А далее наши сделали вполне правильную вещь: вместо того, чтобы тупо сидеть на этих разработках и уныло вещать о не "имеющих аналогов" и о поддержке отечественной науки, вышли с предложением к ситрониксам, что мы им даем эту разработку, а они нам строят под это дело завод и в результате мы вместе юзаем 45нм прямо сейчас, а не тогда, когда американцы наиграются. Вполне взаимовыгодный совместный бизнес.
Демократия – в аду, на небе Царство  

pokos

аксакал

U235> ...Наши ученые слабали пригодный для промышленности 45нм проектор.
Не проектор, а источник. Comprenez-vous?
Похожий источник стоял на Микроне ещё в 1993-м году. Однако, ниже 0,6мкм спуститься нашим товарищам так и не удалось. Потому что окромя источника там ещё песец как много чего надо.
 

pokos

аксакал

Fakir> ...какие фильтры есть и абсолютно доступны, в куче вариантов, потому что на них есть спрос....Это не значит, что нельзя сделать фильтры лучше.
Т.е. раз абсолютно доступны фильтры на 1мкм, то на 10нм они всего лишь в 100 раз недоступнее?
Вот это истинно антиресная логика.
 

U235

старожил
★★★☆
Так я ж говорю - скорее всего Саров подключили. Для них рентгеновская оптика - это профильная тематика. Я еще во времена Горбачева читал про их разработки рентгеновских линз и прочей рентгеновской оптики. Возможно, что наконец их работы дали выхлоп и они нашли, куда это, кроме атомной бомбы и управляемого термояда, можно использовать.
Демократия – в аду, на небе Царство  

Fakir

BlueSkyDreamer
★★★
U235>> ...Наши ученые слабали пригодный для промышленности 45нм проектор.
pokos> Не проектор, а источник. Comprenez-vous?
pokos> Похожий источник стоял на Микроне ещё в 1993-м году. Однако, ниже 0,6мкм спуститься нашим товарищам так и не удалось. Потому что окромя источника там ещё песец как много чего надо.

Так ведь в ссылке о работах новосибирцах вроде говорилось и о чём-то, пожем на проектор?

Fakir>> ...какие фильтры есть и абсолютно доступны, в куче вариантов, потому что на них есть спрос....Это не значит, что нельзя сделать фильтры лучше.
pokos> Т.е. раз абсолютно доступны фильтры на 1мкм, то на 10нм они всего лишь в 100 раз недоступнее?
pokos> Вот это истинно антиресная логика.

Не надо приписывать мне утверждения, к-х я не делал.
По существу лучше бы чего сказали. Если имеете что сказать, конечно, а не просто пофлудить зашли. Каков спектр размеров пылевых частиц в воздухе, какие требования к очистке воздуха и системе фильтрации.
 

pokos

аксакал

Fakir> Так ведь в ссылке о работах новосибирцах вроде говорилось и о чём-то, пожем на проектор?
А нужно не похожее, а проверенное на крупных сериях. Люди в Ситрониксе на экскременты ставить собираются, а 25 арбузов грина окупать и прибыль иметь.

Fakir> Каков спектр размеров пылевых частиц в воздухе, какие требования к очистке воздуха и системе фильтрации.
404

Для конкретно микросхемного производства важна концентрация пыли в воздухе. Т.е. стоко-то частиц на кубометр размером х-у мкм. И так специфицируется для нескольких диапазонов размеров. А когда 45 нанометров, то уже х-у нм.
И пылит не только наружа, но и нутро чистых комнат.

U235, не надо распускать нездоровые слухи. Ни о каких российских компонентах, кроме, скорее всего, бетона и арматуры, речи там не идёт.
 
+
-
edit
 

Wyvern-2

координатор
★★★☆
Fakir>> А из жидкой среды их фильтры даже бактерии вылавливают
pokos> Превед! Узнай размеры бактерии. Сравни с 45нм.

Да, Дима - Покос прав. Суть в стоимости очистки Ты поинтересуйся почему Мезон в Кишиневе расположен там, где он расположен, в Зеленограде (название ничо не навевает? ;)) модули стоят среди хвойных деревьев, а японцы вааще пытались микросхемное производство на корабли перевести

Ник
Жизнь коротка, путь искусства долог, удобный случай мимолетен, опыт обманчив.... Ἱπποκράτης  

Fakir

BlueSkyDreamer
★★★
Fakir>> Каков спектр размеров пылевых частиц в воздухе, какие требования к очистке воздуха и системе фильтрации.
pokos> 404
pokos> Для конкретно микросхемного производства важна концентрация пыли в воздухе. Т.е. стоко-то частиц на кубометр размером х-у мкм. И так специфицируется для нескольких диапазонов размеров. А когда 45 нанометров, то уже х-у нм.
pokos> И пылит не только наружа, но и нутро чистых комнат.
pokos> U235, не надо распускать нездоровые слухи. Ни о каких российских компонентах, кроме, скорее всего, бетона и арматуры, речи там не идёт.

Пардон, как-то я слабо понял.
Ну, статья 70-х годов. Там говорится, что пылинки размером порядка микрометра в худшем случае.
Меньше, уровня нанометров, по ссылке - только капельки жидкости бывают.

Что пылит м внутренность, тем более если там люди присутствуют - тоже понятно. Что с этим в принципе делают, как борются?
А цифири по допустимым размерам пылинок, конкретики - я пока, пардон, не вижу.
Лишь весьма общие словеса.
Даже никто внятно не сказал, как связаны допустимые размеры пылинок с "калибром нанометра технологии", есть ли разница между пылинками и каплями жидкостей того же размера.
 

Fakir

BlueSkyDreamer
★★★
А стоимость стоимостью, но на фоне 45-нм технологии вряд же очистка окажется существенной частью стоимости, тем более - ключевой? Я имею в виду добавочную предварительную очистку, если она потребуется в более грязном районе. Именно предварительную ведь сделать проще и дешевле всего.
 

pokos

аксакал

Fakir> Ну, статья 70-х годов. Там говорится, что пылинки размером порядка микрометра в худшем случае.
Если немного потренироваться читать, то можно вычитать, например, "размеры частиц дыма обычно меньше 1 мкм, но в отдельных случаях достигают и 2—3 мкм."

Fakir> Что с этим в принципе делают, как борются?
Изолирующие костюмы. Непылящие материалы. Антистатика. Ламинарный поток из потолка в пол. Циркуляция воздуха с фильтрацией.

Fakir> А цифири по допустимым размерам пылинок, конкретики - я пока, пардон, не вижу.
Там их и нету. Нанометровые частицы в те годы ещё не умели даже измерять.

Fakir> Лишь весьма общие словеса.
Для вводного курса - самое то.

Fakir> Даже никто внятно не сказал, как связаны допустимые размеры пылинок с "калибром нанометра технологии",
Прямой зависимостью. Если на подложку при экспозиции на 45нм прилипает частица 45нм - это очень вероятный локальный брак. Запорет ли этот брак весь кристалл - дело второе. Мишка писал уже.
 

pokos

аксакал

Fakir> А стоимость стоимостью, но на фоне 45-нм технологии вряд же очистка окажется существенной частью стоимости, тем более - ключевой?
Вообще-то я приводил очистку воздуха как часть, которая сама по себе уже дороже любого источника УФ, не более того.
Если воздухоочистка не обеспечивает требуемую запылённость, то она и есть ключевой вопрос. Сколько она при этом стоит - волнует уже только налоговую инспекцию.
 

Fakir

BlueSkyDreamer
★★★
Fakir>> Ну, статья 70-х годов. Там говорится, что пылинки размером порядка микрометра в худшем случае.
pokos> Если немного потренироваться читать, то можно вычитать, например, "размеры частиц дыма обычно меньше 1 мкм, но в отдельных случаях достигают и 2—3 мкм."

А если вы немного примените свою натренированность, то увидите, что это место я предыдущем посте процитировал.
Да, микроны. И?

Fakir>> Что с этим в принципе делают, как борются?
pokos> Изолирующие костюмы. Непылящие материалы. Антистатика. Ламинарный поток из потолка в пол. Циркуляция воздуха с фильтрацией.

Что из этого сложнее всего и дороже всего? Делается ли что-то в России, и насколько сложно производство необходимых компонент?

Fakir>> А цифири по допустимым размерам пылинок, конкретики - я пока, пардон, не вижу.
pokos> Там их и нету. Нанометровые частицы в те годы ещё не умели даже измерять.

Так на кой леший вы мне ту ссылку суёте? БСЭ я и сам пользоваться умею.
Но вы ж говорите, что шарите в проблема 45-ти нм технологии - так и расскажите толком.


Fakir>> Даже никто внятно не сказал, как связаны допустимые размеры пылинок с "калибром нанометра технологии",
pokos> Прямой зависимостью. Если на подложку при экспозиции на 45нм прилипает частица 45нм - это очень вероятный локальный брак. Запорет ли этот брак весь кристалл - дело второе. Мишка писал уже.

Так а с жидкостью что?

И я правильно понял, что необходимо, по сути, обеспечить отсутствие пылинок лишь в области подложки в момент экспозиции?
 
EE Татарин #04.10.2007 16:54
+
-
edit
 

Татарин

координатор
★★★☆
Народ упорно не понимает, что это не некий "набор станков", а система. Отрасль. С кучей своих отраслевых проблем, способов их решения, оборудования, применимого только там и т.д.
Херофобия - это иррациональный, неконтролируемый страх или тревожное переживание в момент предстоящего, а также существующего веселья. А вовсе не то, о чём Вы подумали.  

pokos

аксакал

Fakir> А если вы немного примените свою натренированность, то увидите, что это место я предыдущем посте процитировал.
Не заметил кавычек чото. Видимо, надо ещё тренироваться.

Fakir> Да, микроны. И?
Тренируйтесь читать ищо.

Fakir> Что из этого сложнее всего и дороже всего? Делается ли что-то в России, и насколько сложно производство необходимых компонент?
Не знаю. Я не настольк знаком с производством фабрик микросхем.

Fakir> БСЭ я и сам пользоваться умею.
А чош не воспользовался-то?

Fakir> Но вы ж говорите, что шарите в проблема 45-ти нм технологии - так и расскажите толком.
Что конкретно рассказать?

Fakir> Так а с жидкостью что?
С жидкостью и легче и труднее. Зависит от того, смачивается жидкостью та или иная поверхность или нет. Но капель жидкости в очищеном воздухе гораздо меньше, чем пылы.

Fakir> И я правильно понял, что необходимо, по сути, обеспечить отсутствие пылинок лишь в области подложки в момент экспозиции?
Неправильно. Необходимо обеспечить отсутсвие пылинок на подложке во время экспозиции.
Это также не значит, что например, во время эпитаксии или окисления пылинки безвредны.
 
CA pokos #04.10.2007 17:04  @Татарин#04.10.2007 16:54
+
-
edit
 

pokos

аксакал

Татарин> Народ упорно не понимает, что это не некий "набор станков", а система....
Кстати, квалифицированный персонал в эту систему тоже входит.
 
1 2 3 4 5 6 7

в начало страницы | новое
 
Поиск
Настройки
Твиттер сайта
Статистика
Рейтинг@Mail.ru