Российская электроника, микроэлектроника, приборостроение

Bredonosec> безмасочная означает, что тонкий луч чертит все дорожки. Площадки - вычерчивает змейкой.
Bredonosec> При диаметре луча в 13нм и диаметре пластины в 200мм представляешь время обработки каждой?

а скорость луча какая? а том может он быстро чертит.

Bredonosec> безмасочная означает, что тонкий луч чертит все дорожки. Площадки - вычерчивает змейкой.
Bredonosec> При диаметре луча в 13нм и диаметре пластины в 200мм представляешь время обработки каждой?
нет, не представляю, вот только в том варианте по которому на щас идет НИР решение групповое, вместо маски там будет массив элементов пропускающих или отражающих синхротронное излучение
если уж хочешь разобраться поищи - безмасочная рентгеновская МИЭТ

с.т.> а скорость луча какая? а том может он быстро чертит.
насколько помню разговоры вокруг да около, эту проблему - безмасочные имеют значительно большее время обработки пластины, и стоимость изготовления соответственно сильно растет - озвучивали и причастные к процессу.. А скорость должна обеспечивать прожигание или активацию слоя, слишком быстро нельзя..

У меня есть мысль, что некоторой оптимизации скорости можно добиться, работая по принципу принтера - одно вращающееся зеркало чертит полоски лучом, а лазер только модулирует излучение, формируя точки и полоски, но что-то мне подсказывает, что даже так скорость будет пониже маски.
Ну и сильно не уверен, что точность модуляции будет достаточна, чтоб, к примеру, формировать поперечную дорожку в те же 13 или близко нанометров..

Грач>>>> Научно-исследовательскую работу по изучению возможности разработки установки безмасочной рентгеновской нанолитографии
Bredonosec> Bredonosec>> для малосерийных изделий?
Грач>> не понял вопроса ... при чем тут серийноcть?
Bredonosec> безмасочная означает, что тонкий луч чертит все дорожки. Площадки - вычерчивает змейкой.
Нет.
В данном случае это не так. Мягкий рентген отражается массивом МЭМС и потом фокусируется на чипе. То есть, что-то вроде DLP-проектора, только луч - мягкий рентген.

Время обработки пластины будет выше из-за специфики МЭМС, рентгена и вообще оптической системы с пачкой зеркал, сложности с плотностью мощности на пластине явно будут. Но это не сканирующая одним лучом (или даже многими лучами) система.

Выигрыш на малых сериях за счёт отсутствия маски тут есть, стоимость крупной серии будет выше наверняка тоже.

...
Но принципиально тут можно выиграть многое именно за счёт приемлимой цены малой серии. Грубо говоря, сейчас выпускаются крупносерийные микросхемы (потому что иначе никак), потом они корпусируются, потом электронщики составляют из них как из кубиков свою систему, потом собирают. Потому как набор масок дорог, даже если собирать несколько микрух на одной пластине, да и пробовать всё равно - очень долго и дорого.
Для крупносерийных изделий выгоднее разработка микросхемы для изделия (сборка из ИП-блоков и компиляция в топологию), на которой весь аппарат одной микрухой. Выгода размещения всего в одном корпусе микросхемы может перекрыть бОльшую стоимость микросхемы с лихвой.

Bredonosec> У меня есть мысль, что некоторой оптимизации скорости можно добиться, работая по принципу принтера - одно вращающееся зеркало чертит полоски лучом, а лазер только модулирует излучение, формируя точки и полоски, но что-то мне подсказывает, что даже так скорость будет пониже маски.
На практически интересные технормы такая система с черчением чего-то лучом нереализуема: нет лазеров на нужный диапазон, дифракция замучает (апертура лазера должна быть большой), невозможно будет обеспечить точность механики, модулировать быстро нельзя (да и способы модуляции на интересных диапазонах все фиговые) и т.п.
Это прокатило бы в 70-х, покуда нормы были несколько микрон, а то и десятков-сотен. Но нанометры так не получить даже дай тебе кто-нить лазер 10нм диапазона.

Bredonosec> Ну и сильно не уверен, что точность модуляции будет достаточна, чтоб, к примеру, формировать поперечную дорожку в те же 13 или близко нанометров..
Да, лазерное сканирование - это неработоспособно сразу по многим причинам.

Радикальным вариантом со сканирующей безмасочной литографией был "Маппер" - там очень много электронных лучей (уже на 100эВ длина волны электрона порядка размера атома, а меньше - не особо и нужно; при этом он ещё и имеет офигенно малый тормозной путь и даёт надёжную химию, в любом случае это радикально лучше любого рентгена).
Там матрица, лучи модулируются МЭМС и синхронно сканируют каждый свой участок (триллионы их). Но что-то там не совсем поехало, НЯП.

Bredonosec> Ну и сильно не уверен, что точность модуляции будет достаточна, чтоб, к примеру, формировать поперечную дорожку в те же 13 или близко нанометров..

Нет там дорожек в 13 нанометров, даже близко. Эти 13 нм рекламные из того же разряда, что и 1200 Вт на китайской батареечной магнитоле.

Sandro> Нет. Можно и на меньшем диаметре работать. Это даже проще. Диаметр пластин увеличивают из экономических соображений, так как стоимость некоторых операций пропорциональна количеству пластин, а не их суммарной площади, грубо говоря.
Так если чипы в итоге будут дороже - это будет пролёт, вплоть до банкротства предприятия. Или можно поискать лазейки в виде размещения производств, допустим, где-нибудь в Иркутской области либо Красноярском крае, где электроэнергия дешевле?

pkl> Так если чипы в итоге будут дороже - это будет пролёт, вплоть до банкротства предприятия.
Свободной конкуренции на мировом рынке уже нет.

pkl> Или можно поискать лазейки в виде размещения производств, допустим, где-нибудь в Иркутской области либо Красноярском крае, где электроэнергия дешевле?
Энергия в таком производстве - это копейки.

Bredonosec>> безмасочная означает, что тонкий луч чертит все дорожки. Площадки - вычерчивает змейкой.
Татарин> Нет.
Татарин> В данном случае это не так. Мягкий рентген отражается массивом МЭМС и потом фокусируется на чипе... Время обработки пластины будет выше из-за специфики МЭМС, рентгена и вообще оптической системы с пачкой зеркал, сложности с плотностью мощности на пластине явно будут. Но это не сканирующая одним лучом (или даже многими лучами) система.
Погоди, не понял.
Если луч от излучателя проходит через одно-несколько-пачку зеркал МЭМС-а, и фокусится на пластину, то почему это не то же черчение лучом?

Татарин> Но принципиально тут можно выиграть многое именно за счёт приемлимой цены малой серии.

так я изначально грачу это и написал.

Татарин> Это прокатило бы в 70-х, покуда нормы были несколько микрон, а то и десятков-сотен. Но нанометры так не получить даже дай тебе кто-нить лазер 10нм диапазона.
ну, истины для, прокатывало даже в начале 90-х. На закупленном в западной германии (за валюту, в 86-88 где-то году) оборудовании вакуумного напыления и лазерной гравировки для подстройки параметров.
На фото ниже несколько бракованных "микрух", из тех, что самолично пробовал позиционировать на стенде микроджойстиком для замера параметров, после чего лазер автоматически должен был вон те широкие площадки расчертить змейкой где надо для получения нужной величины сопротивления, ёмкости или индуктивности. К настоящей продукции (ящик всё-таки! продукция для оборонки!) меня на установке не допускали, но брак потыкать в порядке ознакомления с процессом - дали )

Татарин> Да, лазерное сканирование - это неработоспособно сразу по многим причинам.
понял, значит не зря подозревал

Татарин> Радикальным вариантом со сканирующей безмасочной литографией был "Маппер" - там очень много электронных лучей (уже на 100эВ длина волны электрона порядка размера атома, а меньше - не особо и нужно; при этом он ещё и имеет офигенно малый тормозной путь и даёт надёжную химию, в любом случае это радикально лучше любого рентгена).
Татарин> Там матрица, лучи модулируются МЭМС и синхронно сканируют каждый свой участок (триллионы их). Но что-то там не совсем поехало, НЯП.
хм... не представляю, какие должны быть зеркала, чтоб сразу триллионы лучей синхронно направлять.. Это точно безмасочный метод? Даже матрица должна иметь частоту, равную или схожую с параметрами облучаемой пластины..
а размещать катоды так часто.. не представляю метода.

Bredonosec>> Ну и сильно не уверен, что точность модуляции будет достаточна, чтоб, к примеру, формировать поперечную дорожку в те же 13 или близко нанометров..
Sandro> Эти 13 нм рекламные
я ж написал, или близко. что есть параметр - я читал не раз, в курсе )

Bredonosec> Если луч от излучателя проходит через одно-несколько-пачку зеркал МЭМС-а, и фокусится на пластину, то почему это не то же черчение лучом?
Потому что проецируется всё сразу. Это такая маска, только софтово изменяемая на лету из МЭМС-массива, а не чистая заранее нарезаный и подготовленный хардвара.
Как в ДЛП-проекторе, только вместо света - мягкий рентген, а вместо кадра фильма - топология.

Bredonosec> ну, истины для, прокатывало даже в начале 90-х. На закупленном в западной германии (за валюту, в 86-88 где-то году) оборудовании вакуумного напыления и лазерной гравировки для подстройки параметров.
Ой, не, это совсем не те размеры и даже там требования куда попроще.

Bredonosec> хм... не представляю, какие должны быть зеркала, чтоб сразу триллионы лучей синхронно направлять.. Это точно безмасочный метод? Даже матрица должна иметь частоту, равную или схожую с параметрами облучаемой пластины..
Bredonosec> а размещать катоды так часто.. не представляю метода.
Нет, микромеханика должна изображать модуляцию электронных лучей. Не зеркала. Затворы.
А вот после выхода из микромодуляторов сканирующие напряжения прикладывались ко всем лучам одновременно, лучи двигались синхронно.

Anarky> PS: причем IP блоки, сделанные на государственные деньги есть в стране. Но чет они не лежат на каком-нибудь минпромторговском репозитории. Как было бы хорошо, если бы например можно было получить ваши блоки. Но...
А почему, собственно, их не выкладывают?

Anarky> Не, вот это фигня. Зявки, формы, разрешения. У меня была мысль по самым актуальным позициям ввести обратную пошлину, эдакий bounty. Довез - молодец
Думаю, довезённое и так будут покупать по любым ценам.

Bredonosec> есть варианты.
Bredonosec> Голландия с населением...

Не Голландия а IMEC с ASMS в широчайшей международной кооперации, в том числе и с Российскими институтами.

Bredonosec> Ключевые вещи, которые могут запретить, - правильнее самим.

Процессоры хоть обзапрещайся - все равно завезут.

Bredonosec> Как пример, наконец (с опозданием на 21 год) запущена программа масштабной группировки космической связи - несколько сотен аппаратов. Это явно большая серия, на которую нужна серия микросхем. Само собой, далеко не по одной на аппарат.

Я бы тут не замахивался особенно. Для этих аппаратов нужны микрухи которых нет. Даже если их вот прямо сейчас проектируют, до серии года 3-4.

Bredonosec> Как пример, российский автопром, который сожрет партии в сотни тыщ единиц конечных изделий в год.

И где же оно? А вот оно все в бесполезных теперь Эльбрусах, Байкалах и Скифах.

Bredonosec> Китайские процессоры пока не очень по сравнению со штатовскими.

И Заоксин и уж тем более их Зен на голову лучше Эльбрусов.

Bredonosec> А эльбрусы - это попытка создать массовый ширпотребный продукт, который за счет серии мог бы отбить ниокр и сбить цену на единицу до вменяемых величин.

Вообще-то нет. Эльбрусы попытка создать процессор в классе производительности средних западных. Причем если когда все начиналось, выбор VLIW для этого был верен, то сейчас... но уже не важно. Просто сравни цены на Эльбрусы и на Байкалы, хотя Байкалы куда как юзабильнее.

Грач> не понял вопроса ... при чем тут серийноcть?

Без шансов. И сроки изготовления больших партий, и вариации параметров будут дрянь. Вот делать фотошаблоны таким способом вариант интересный.

Грач> промышленную электронику мы в значительной части можем и делаем и внутри страны просто обязаны сделать её конкурентноспособной

Сейчас поздно. Да и с кем конкурентноспособной? Кому ты её продашь?

pkl> А почему, собственно, их не выкладывают?

А чего ты у меня спрашиваешь?

Грач> «Почта России» сообщила о завершении установки серверного оборудования от отечественных разработчиков Yadro и «Аквариус». Компания развернула 506 серверов в московском центре обработки данных и еще 147 – в Сочи.

Yadro - это как правило очень условно российское производство, как правило перевешивание лейбла, не более.

Sandro> Тогда придётся вводить пиратские патенты
Каперские свидетельства!

Ronin>> Недавний микроновский Амур пока ещё не доступен.
Anarky> Там ни флешки ни АЦП ЕМНИП. Сделать МКК - это сделать вагон и маленькую тележку аналоговых блоков. Да и самих МКК нужно сразу семейство.

Вопрос унификации. Сделать с запасом по параметрам условно один кристалл, и отбраковкой блоков(памяти)/корпусировкой сделать небольшую линейку МК. Можно вспомнить о внешних чипах pio/adc/dac/ram/rom на каком-нибудь i2c/spi, особенно если ещё и прозрачно поддержать такое расширение.

Грач>> Научно-исследовательскую работу по изучению возможности разработки установки безмасочной рентгеновской нанолитографии
Bredonosec> для малосерийных изделий?

В наших масштабах оно и так малосерийное по меркам индустрии. В лучшем случае среднесерийное.

Bredonosec> Как пример, наконец (с опозданием на 21 год) запущена программа масштабной группировки космической связи - несколько сотен аппаратов. Это явно большая серия, на которую нужна серия микросхем. Само собой, далеко не по одной на аппарат.

Несколько сотен да ещё на много лет, по промышленным меркам, даже нашим - небольшая серия. Хотя по космическим, да, много.

Bredonosec> Как пример, российский автопром, который сожрет партии в сотни тыщ единиц конечных изделий в год.
Bredonosec> Как пример, производители бытовой техники, которые сожрут аналогичные же партии.
Bredonosec> Кто мешает унифицировать электронику на неких универсальных платках и выпускать их миллионными партиями?

Не платках, а чипах. Сделать плату в общем не проблема (разве что для тяжёлых процессоров с пятью ddr имеет смысл производителю сделать SOM модули, с открытыми исходниками). Хотя бы перетащить с Тайваня в Зеленоград (допинав последних до стандартов высокой мировой моды) выпускаемую номенклатуру на крупных процессах. И сразу расширять её по проблемным направлениям.

Bredonosec> А эльбрусы - это попытка создать массовый ширпотребный продукт, который за счет серии мог бы отбить ниокр и сбить цену на единицу до вменяемых величин.

Эльбрусу бы нужна своя экосистема - хорошо проработанная ОС, компиляторы, окружение. Но из-за своей киллер-фичи x86 совместимости он так и остаётся в её тени, и по своей же природе не может конкурировать с нативными x86.

Татарин> Потому что проецируется всё сразу. Это такая маска, только софтово изменяемая на лету из МЭМС-массива, а не чистая заранее нарезаный и подготовленный хардвара.
но если проблема засветить точку размером с икс атомов, то сделать в тех же масштабах источник излучения и затвор - это ж вообще запредельно, не?
Или как тогда матрица затворов это делает?

Татарин> Ой, не, это совсем не те размеры и даже там требования куда попроще.
возможно.. Но тем не менее, это где-то 91 год и оборудование именно западногерманское. Завод А/я 555, он же взрип. Известный в ссср ящик, делавший изделия для оборонки.

Татарин> Нет, микромеханика должна изображать модуляцию электронных лучей. Не зеркала. Затворы.
Татарин> А вот после выхода из микромодуляторов сканирующие напряжения прикладывались ко всем лучам одновременно, лучи двигались синхронно.
синхронно - это по системе "сканера", только вся линейка одновременно светит?
Или имеется в виду икс плат одновременно вычерчиваются перемещением шаблона, в которых один луч чертит одну плату?
Или я опять не угадал логику?

Bredonosec> но если проблема засветить точку размером с икс атомов, то сделать в тех же масштабах источник излучения и затвор - это ж вообще запредельно, не?
Почему "тех же масштабов"? "Маска" намного больше, потом оптикой (системой зеркал) ещё изображение проецируется на пластину. В некоторых вариантах (я не знаю, какой тут конкретно), ещё двигается точечный источник света со сменой маски, чтобы осуществлять "сканирование". Ну, как движением фонарика относительно зеркала ты можешь менять место куда упадёт зайчик. Только тут зайчиков много, и каждый из них можно затенить или включить обратно.

Bredonosec> синхронно - это по системе "сканера", только вся линейка одновременно светит?
Не "линейка", а матрица. Каждый луч сканирует свой маленький участок под своим затвором, одно-скольки-там миллионную-триллионную от всей площади.

Лучи перемещаются внешним напряжением синхронно и одновременно, просто каждый включается и выключается по-своему.