Прочитал статью
https://www.electronics.ru/files/article_pdf/...
из которой следует, что Планар способен обеспечить производство оборудования для полного цикла литографии на тех нормы 90 Нм. Хотелось бы понять, это рекламная бравада, или Планар реально вышел на такие уровни.