Дем> Ну так если я цифру приведу - не поверят что так мало.
А какую "цифру" ты можешь "привести"-то вообще?
Тут чисто арифметика: 150мм вафля - это порядка 17000мм2 (ну, в зависимости от размера чипа и толщины улиц, способа скрайба и т.п. отсюда вычитаются кромки и неиспользуемые остатки, но это порядка процентов от площади).
Если чип 5мм2, то 17000/5 = 3400 чипов, если чип 10мм2, то с пластины 1700, соотвественно.
Производительность пайплайна определяется узким местом, но почти всегда это самый дорогой участок, то есть степпер/сканер. Обычно порядка десятков пластин в час (на пластину требуется от 5 до нескольких десятков проходов с совмещениями), десятки-первые сотни тысяч обработок в год, грубо - тысячи-первые десятки тысяч пластин в год, миллионы-десятки миллионов чипов в год. Не сказать, чтоб прям уж "мало".
Это на линию
минимальной производительности (меньше одного степпера/сканера не поставить, а степперов меньшей производительности на ртути и эксимеров нет, это на экстремальном УФ очень дорогой источник; эксимеры или даже просто ртуть на "толстые" техпроцессы и мощные, и дешёвые).
Всё, что имеет производительность меньше - это экспериментальные, лабораторные или особые технологии.
Типа, например, электронной литографии или сканирующей ионной имплантации, тем узкое место будет электронный или ионный сканер. Ну или там сверхмалые установки для вояк под нитрид галлия-карбид кремния... но мы опять же не о них. Это уже совсем не bulk CMOS.
Оговорка может быть насчёт выхода годных, но при выходе меньше 10-30% и без того высокая цена совсем уж замучает и производство потеряет смысл. Так что делать сильно меньше тоже не получится: если уж делают, то делают много.
То есть, для малой производительности может быть одна реальная причина: линия просто не работает, заказов нет. Во всех других случаях даже самый маленький заводик минимум-миниморум, с одной опытной линией хреначит чипы уж минимум миллионами в год.