Российская электроника, микроэлектроника, приборостроение

Bredonosec> Отраслевые эксперты оценивают стоимость оборудования как привлекательную: она на десятки процентов ниже цен на зарубежные аналоги с аналогичными характеристиками. ...Ориентировочная цена таких машин — около 6 млн долларов.
Поезженый (не новый) ASML на такие процессы стОит около 10-12. Новые есть у китайцев, но они не продают. У буржуев такие машины ещё выпускал как минимум Никон, но там с ценами непонятно - выпускают ли ещё?

С виду - так прям прекрасно, даже если все допы (типа подставки-стабилизатора и т.п.) посчитать.

Татарин> Поезженый (не новый) ASML на такие процессы стОит около 10-12. Новые есть у китайцев, но они не продают. У буржуев такие машины ещё выпускал как минимум Никон, но там с ценами непонятно - выпускают ли ещё?
Татарин> С виду - так прям прекрасно, даже если все допы (типа подставки-стабилизатора и т.п.) посчитать.

а где продаются поддержанные ASML, да еще по таким ценам?

Татарин>> Поезженый (не новый) ASML на такие процессы стОит около 10-12. Новые есть у китайцев, но они не продают. У буржуев такие машины ещё выпускал как минимум Никон, но там с ценами непонятно - выпускают ли ещё?
Татарин>> С виду - так прям прекрасно, даже если все допы (типа подставки-стабилизатора и т.п.) посчитать.
Валенок> а где продаются поддержанные ASML, да еще по таким ценам?
Китайцы до недавнего времени (до начала-середины 10-х, где-то) скупали старые европейские заводы, инфа в англоязычной сети (реддите) проскакивала (правда, там в контексте больше похожем на "глянь, что этим обезьянам приходится покупать!").
Где-то в русском сегменте менькало, что прямо сейчас ASML тоже вовсю новые машины на DUV клепает - вот где-то этот диапазон 0.1-0.5мкм, мол, ходовой товар сейчас, но подтверждений не видел.

Татарин> Где-то в русском сегменте менькало, что прямо сейчас ASML тоже вовсю новые машины на DUV клепает - вот где-то этот диапазон 0.1-0.5мкм, мол, ходовой товар сейчас, но подтверждений не видел.

0,1-0,5, это очень большая разница, если 0,5 это обычная фотолитография раздельных процессов, то 0,1 уже экстремальный УФ. Что же касается ASML то после введения санкций КНР, эта фирма испытывает финансовые затруднения с 24 года, и только из за перетряски Трампом азиатских производителей в Корее и на Тайване, с требованием переносить производства в США, листинг компании начал подниматься в ожидании заказов под новые цеха. Вторичный же рынок литографических машин отсутствует, ибо под каждой такой машиной разворачивается всё производство, диффузия, эпитаксия, п-во расходных материалов. Ресурс машины прямо пропорционален к-ву брака. Поэтому из неё выжимают все по максимуму. Оборудование, которое в последствии списывается из за неприемлемого к-ва брака, не нужно никому.

Татарин>> Где-то в русском сегменте менькало, что прямо сейчас ASML тоже вовсю новые машины на DUV клепает - вот где-то этот диапазон 0.1-0.5мкм, мол, ходовой товар сейчас, но подтверждений не видел.
Валенок> 0,1-0,5, это очень большая разница, если 0,5 это обычная фотолитография раздельных процессов, то 0,1 уже экстремальный УФ.
254нм или даже обычные 354 + фазосдвигающие маски. Ну, 0.1 на 354нм будет сложно, но вот 254 не то что можно пытаться, но и массово делали, НЯЗ. 193нм эксимерные лазеры выигрывают не за счёт длины волны, а больше за счёт качества излучения.

Валенок> Вторичный же рынок литографических машин отсутствует, ибо под каждой такой машиной разворачивается всё производство, диффузия, эпитаксия, п-во расходных материалов.
Понятное дело, что литограф встроен в производственный цикл, но там нет жёсткой связки между литографом и, допустим, установкой плазмохимического травления, магнетронного напыления, эпитаксии, ALD, или, допустим, ионной имплантации. По размеру пластин - да, но даже там возможны финты ушами иногда.
Расходники (типа химии) производством закупаются внешние, да, есть пачка зависимостей между длиной волны, фоторезистом, растворами-режимами травления-промывки и т.п., но это не совсем то же самое, что "разворачивать процесс под литограф". Сам процесс (режимы, время, температуры, растворы) - да, но набор оборудования - нет.
Если литограф переедет на другую фабрику, другая фабрика не начнёт с нуля (хотя им придётся потрахаться со становлением процесса, это да, но те же резисты, как и расходники под них - они просто купят там же, где покупали предыдущие владельцы).

Валенок> Ресурс машины прямо пропорционален к-ву брака. Поэтому из неё выжимают все по максимуму. Оборудование, которое в последствии списывается из за неприемлемого к-ва брака, не нужно никому.
Да вот, как показывает практика, нифига. Пока вообще хоть как-то работает источник света и механика, машину можно гонять и гонять, ремонтировать, а потом снова гонять, просто со всё бОльшими допусками.

Это у EUV есть критические проблемы с источником света, а эксимеры (не говоря уж про ртуть) - вполне себе ремонтопригодные машины.

Татарин> Это у EUV есть критические проблемы с источником света, а эксимеры (не говоря уж про ртуть) - вполне себе ремонтопригодные машины.

Даже старая планарная технология, чрезвычайно сложная система, где один цех, это объединенные на одной площадке этапы основных химических и физических воздействий. От подготовки пластин, до контроля на брак готовых к резке пластин. Фотолитография при этом находилась в центре, как отдельное помещение с установкой нанесения фоторезиста, микроскопов совмещения и экспозиции и последующей смывки и контроля. Современные машины фотолитографии родились не в Нидерландах, а на Минском заводе прецизионной техники. как часть НПО "Планар". Называлась технологическая линия "Лада". Так весь цех фотолитографии превратился в одну линию под вакуумом. Даже эта линия в 89 году требовала полного переформатирования производства. Современные же технологии стали появляться как следствие борьбы с пылью, основным фактором брака. Естественно, что менялась и химия и планирование цехов, требования к которым изменялось. Сегодня не видел, как выглядит производство ПП, где этапы практически всех циклов в вакууме. Но чем сложнее системы, тем менее они ремонтопригодные, где ремонт сводится к замене отдельных блоков по графику. То же и с оптикой, вы же не ремонтируете оптику какого сцинтиллятора, попросту убъете впустую немеряно рабочего времени. Попросту поменяете весь прибор. Старый будет утилизирован. Закупка расходных материалов, ну это тоже, понятие субъективного восприятия. Даже фоторезист смешивается из компонентов непосредственно в машине, и имеет ограниченное количество часов годности. Уже не говоря про контроль качества компонентов, на каждом этапе. По химической чистоте, по физическим параметрам. Пленка окисла на сверхчистом алюминии превратит в негодность материал, который по стоимости на порядок выше золота. Все эти заморочки создали целую индустрию оборудования малых закрытых циклов. И понятное дело, что агрегат по стоимости в пол производства будет тем центром, вокруг которого раскручивается вся технологическая цепочка.

Валенок> Но чем сложнее системы, тем менее они ремонтопригодные, где ремонт сводится к замене отдельных блоков по графику.
Это по бОльшей части правда, но это правда, когда денег избыток, а не когда вы китайцы. Но с учётом стоимости машины выкинуть её без ремонта из-за сдохшего кондёра в блоке питания эксимера - это... серьёзное решение. Если БП доступен к покупке - купят БП, но если нет - отремонтируют.

Кроме того, покупается же не только литограф, а обычно линия целиком.

Валенок> Закупка расходных материалов, ну это тоже, понятие субъективного восприятия. Даже фоторезист смешивается из компонентов непосредственно в машине, и имеет ограниченное количество часов годности.
Он приготавливается там. Из закупленых компонентов по рецепту производителя резиста (вариации возможны и бывают, но это не уровень разработки или, тем более, синтез сложной и ядовитой химии вроде каких-нить диазидов). Это уровень применения готовых решений, замена резиста с одного на другой - это, конечно, большой гемморой и требует перелопачивания техпроцесса, но это не ведёт за собой замены всей линии или разработки всей химии с нуля.

Валенок> Уже не говоря про контроль качества компонентов, на каждом этапе. По химической чистоте, по физическим параметрам. Пленка окисла на сверхчистом алюминии превратит в негодность материал, который по стоимости на порядок выше золота.
Это всё понятно, но тем не менее, рынок подержаных машин реально существует.

Валенок> Фотолитография при этом находилась в центре, как отдельное помещение с установкой нанесения фоторезиста, микроскопов совмещения и экспозиции и последующей смывки и контроля. Современные машины фотолитографии родились не в Нидерландах, а на Минском заводе прецизионной техники.
Хм. В где-то 1990-91 чтоль году на взрипе (а/я 555) видел несколько иное решение - вакуумный колпак из стекла, где раскалялся источник материала, а пластина с маской вращалась вокруг него на высокой скорости. Возможно, это было более старое решение, но резка дорожек на подстройку параметров шла фргшными пром.лазерами закупки второй половины 80х...

Bredonosec> Хм. В где-то 1990-91 чтоль году на взрипе (а/я 555) видел несколько иное решение - вакуумный колпак из стекла, где раскалялся источник материала, а пластина с маской вращалась вокруг него на высокой скорости.
Трафаретная печать - это даже не микроэлектроника по нынешним меркам. Точность элемента ниже 30-50мкм трафаретом не получить (и 30мкм - это уже прям напрячься нужно, потому что точность элемента через трафарет не может быть заметно меньше его толщины), а сейчас это примерно 7-й класс точности печатных плат (смартфоны-ноуты) - 50мкм дорожка, 15мкм защитный поясок (если по ГОСТ). Кстати, некоторые печатные платы (и резисторы на них) реально делают трафаретным напылением, НЯЗ.

Даже фоторезист с контактной маской - это 10-20мкм, и никак не меньше... всё, что меньше - проекционная фотолитография.

Да и простое термическое напыление - это, всё-таки, сейчас уже нечасто случается в реальных процессах микроэлектроники.

Почти наверняка это было нечто грубое, аналоговое (раз требовало настройки), и по описанию подходит под изготовлению каких-то микромодулей ("гибридные микросхемы", как их называли в Союзе).

Bredonosec>> Хм. В где-то 1990-91 чтоль году на взрипе (а/я 555) видел
Татарин> Трафаретная печать - это даже не микроэлектроника по нынешним меркам.
Так понятно, что 35 лет назад с нынешними мерками не сравнить. Но значит трафаретная...

Bredonosec>>> Хм. В где-то 1990-91 чтоль году на взрипе (а/я 555) видел
Татарин>> Трафаретная печать - это даже не микроэлектроника по нынешним меркам.
Bredonosec> Так понятно, что 35 лет назад с нынешними мерками не сравнить. Но значит трафаретная...
Ну, как ты говоришь "пластина с маской". Я это понял как "пластина с приложеным трафаретом" (к пластине приложена фольга с дырками там, где нужно напылить).

Ну и прямое термальное напыление тоже намекает, что это что-то очень простое-дешёвое. Сейчас почти везде дешевле, удобнее и во всех аспектах лучше магнетронное. Даже для простой металлизации: банально удобно, когда напыляемый материал движется на мишень предсказуемо-направленно, а не чисто броуновски и по-Максвеллу, плюс микрокапли из мишени не летят.
Я уже не очень уверен, что сейчас хотя бы простые алюминиевые зеркала конденсацией пара делают.
Хотя, вроде бы, самое место... но когда простое селективное покрытие (CuO) заказывали, нам сделали медь магнетроном.

Bredonosec>>>> Хм. В где-то 1990-91 чтоль году
Bredonosec>> Так понятно, что 35 лет назад с нынешними мерками не сравнить.
Татарин> намекает, что это что-то очень простое-дешёвое. Сейчас почти везде дешевле, удобнее и во всех аспектах лучше
Да кто спорит?
Но это было 35 лет назад и про "сейчас" тогда никто не знал.)

Bredonosec>>>>> Хм. В где-то 1990-91 чтоль году
Bredonosec> Bredonosec>> Так понятно, что 35 лет назад с нынешними мерками не сравнить.
Татарин>> намекает, что это что-то очень простое-дешёвое. Сейчас почти везде дешевле, удобнее и во всех аспектах лучше
Bredonosec> Да кто спорит?
Bredonosec> Но это было 35 лет назад и про "сейчас" тогда никто не знал.)
Магнетронное напыление в микроэлектронике - это очень давно. С самого начала, можно сказать; сам метод - изобретение 1910-х. Просто в 50-60-е это было дороговато, поэтому использовалось только там, где иначе никак - качество покрытия важно или мишень сложная. В микроэлектронике почти всегда качество покрытия важно.

Bredonosec> Хм. В где-то 1990-91 чтоль году на взрипе (а/я 555) видел несколько иное решение - вакуумный колпак из стекла, где раскалялся источник материала, а пластина с маской вращалась вокруг него на высокой скорости. Возможно, это было более старое решение, но резка дорожек на подстройку параметров шла фргшными пром.лазерами закупки второй половины 80х...

Если не ошибаюсь, вами упомянутое предприятие выпускало гирокомпасы для торпед и было составным элементом НПО "Азимут". Во всяком случае, приборы с отметками три пятерки приходили на юстировку в Питер на завод "Штурманские приборы". Установка, это видимо устройство вакуумного напыления "Вулкан", изготавливал вильнюсский завод прецизионной техники, хотя название "завод", были слишком громким для него. Скорее это было КБ с производственной базой.

Татарин> Он приготавливается там. Из закупленых компонентов по рецепту производителя резиста (вариации возможны и бывают, но это не уровень разработки или, тем более, синтез сложной и ядовитой химии вроде каких-нить диазидов). Это уровень применения готовых решений, замена резиста с одного на другой - это, конечно, большой гемморой и требует перелопачивания техпроцесса, но это не ведёт за собой замены всей линии или разработки всей химии с нуля.

Конечно не ведет. Но сами понимаете, качество фоторезиста, сегодня и вчера, это качество ПП изделия. В моё время, мы специально нарушали технологический процесс, снижая обороты столиков, что бы пленка была толще. Тогда после экспозиции нижний слой не полностью полимеризировался, а при смывке, верхняя часть полимера как юбка опускалась и закрывала проводник при травлении, при этом достигался уровень брака в сотые доли процента. А значит постоянные премии. По понятным причинам этот процесс невозможно было ни запатентовать, ни взять авторское свидетельство. Потому довольствовались нехилыми премиями, по двести в квартал, и тринадцатой зарплатой. Синтез компонентов, конечно же не тот уровень, но методы смешивания и вариации, это уже ноу-хау технолога. Можно только представить, уровень компетенции такого человека. Ну а насчет вторичного рынка фотолитографического оборудования, всё же очень сомневаюсь.

Татарин> Почти наверняка это было нечто грубое, аналоговое (раз требовало настройки), и по описанию подходит под изготовлению каких-то микромодулей ("гибридные микросхемы", как их называли в Союзе).

Сегодня, эти "гибридные микросхемы", основа систем наведения и сервов ракетной техники. С интересом разглядываю остатки как и западного вооружения, так и российского, что выставляют на продажу в интернете. В некоторых случаях даже видны следы чуть ли не ручной пайки.

Валенок> Если не ошибаюсь, вами упомянутое предприятие выпускало гирокомпасы для торпед и было составным элементом НПО "Азимут".
мягко говоря, не только.
Это было одно из крупнейших предприятий по радиоэлектронике в ссср, и ввиду массовости заказов денег оно имело столько, что, как говорили, Октябрь Осипович (Шевченко) построил коммунизм на отдельно взятом заводе.
Основная часть была именно радиоприборами и электронной измерительной техникой. А не вот этой примитивной механикой. Да, для флота работали. Но на какие именно комплексы шла их электроника, мне, само собой, никто не говорил, когда я там работал. Возможно, "измеряли" расстояния до целей и параметры излучения комплексов противника - не знаю, а врать не хочу
Причем, разрабатывали её там же. Только в институте радиоизмерительных приборов, который был через дорогу от территории завода.
Завод отметил красным, институт - если не ошибаюсь, то зеленое (я на нем не бывал, только коллеги работали)

> Установка, это видимо устройство вакуумного напыления "Вулкан", изготавливал вильнюсский завод прецизионной техники, хотя название "завод", были слишком громким для него. Скорее это было КБ с производственной базой.
А это точно был именно отдельный завод, а не цех в составе какого-то?

Bredonosec> Завод отметил красным, институт - если не ошибаюсь, то зеленое (я на нем не бывал, только коллеги работали)
>> Установка, это видимо устройство вакуумного напыления "Вулкан", изготавливал вильнюсский завод прецизионной техники, хотя название "завод", были слишком громким для него. Скорее это было КБ с производственной базой.
Bredonosec> А это точно был именно отдельный завод, а не цех в составе какого-то?

Ваш пост всколыхнул воспоминания, реально можно только в ретроспективе понять, насколько СССР был уникальной страной. Громадой науки и техники. Не было джинсов и сникерсов, но и это по какой то причине было у каждого. Какие были умы. Иногда кажется, что СССР, это было нечто гениальное, написанное великим классиком, но, с грамматическими ошибками.

Точно не знаю, но в документации написано, - завод. Хотя по кадровому составу, около сотни человек. Наверное нечто экспериментального производства. Без плана, но под заказ.